INNOViON發布定制離子植入機

INNOViON今天宣布已發布第二款定制的高能離子注入機。 該工具有望提供高達800 keV的能量。

INNOViON銷售副總裁史蒂文·斯旺森（Steven Swanson）表示：“我們很高興能夠添加此附加功能並擴展我們的高能量注入能力。 這個細分市場正在快速增長，尤其是與化合物半導體相關的領域，我們已經在計劃著手建立第三個系統來滿足客戶需求。”